LPE長晶爐
(1)
加熱溫度
最高2400 ℃
(2)
加熱方式
兩組高周波電源感應加熱
(3)
融液控制
附直流磁場線圈
(4)
控制方式
線圈電流控制(ACC)、溫度計控制(ATC)、手動方式
(5)
溫度控制精度
士0.1% FS(ACC)、1800 ℃士5℃(ATC)
(6)
氣氛
Ar 、N2
(7)
極限圧力
常壓
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