SiC-LPE

(1)

加熱溫度

最高2400 ℃

(2)

加熱方式

兩組高周波電源感應加熱

(3)

融液控制

附直流磁場線圈

(4)

控制方式

線圈電流控制(ACC)、溫度計控制(ATC)、手動方式

(5)

溫度控制精度

士0.1% FS(ACC)、1800 ℃士5℃(ATC)

(6)

氣氛

Ar 、N₂

(7)

極限圧力

常壓