SiC-CVD

ht-cvd_1470364304
TWD

HT-CVD長晶爐規格:

(1)

石英管

ID280,H1260

(2)

加熱溫度

最高2500

(3)

加熱方式

兩組高周波電源感應加熱

(4)

溫度測量

利用上下紅外放射溫度計測溫

(5)

控制方式

線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC)、手動方式

(6)

溫度控制精度

0.1% FS (ACC) 1800 5 (ATC)

(7)

氣氛

真空、SiH4C3H8H2Ar N2

(8)

極限圧力

13Pa (常溫空妒時)

(9)

圧力控制範圍

(10100) kPa0.1%FS

(767605 Torr