SiC-PVT

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TWD

PVT長晶爐規格:

(1)

加熱溫度

最高溫度2500°C

(2)

高周波電源

50KW7-15KHz

(3)

溫度測量

利用上下紅外放射溫度計測溫

(4)

控制方式

線圈電流控制(ACC)、放射溫度計控制(ATC) 、手動方式

(5)

溫度控制精度

0.1%FS(ACC)2500 °C5 °C (ATC)

(6)

氣氛

真空、Ar N2

(7)

極限圧力

1.33x 10-3Pa (常溫空妒時)

(8)

壓力控制範圍

(133101) x105 Pa0.1%FS

低壓側 1.0100.00.1 Torr

高壓側1007605 Torr